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氦質譜檢漏儀，EBARA真空泵，普發檢漏儀，普發真空泵，inficon，壓力控制器

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MKS質量流量計 MKS電源 MKS其他產品

產品圖片	產品名稱/型號	產品簡單介紹
	質譜分析儀	Micro Vision2 產品的技術是基于MKS殘余氣體分析質譜傳感頭和氣體監控系統的核心技術，利用先進的射頻電路模塊和數據采集電路模塊，具有的性能，為要求嚴格的應用所需，雙CPU提供了高穩定的運行，快速和寬范圍的動態掃描，使得工藝偏差和氣體成分改變的監測變得很容易及**的通訊功能。靈活的輸入輸出性能，易與機臺和其他傳感器連接。質量數范圍：1-300可選，雙檢測配置。 eVision 2 基于以太網的低成本的殘余氣體分析儀。利用Web瀏覽器或通過EasyView軟件方便地操作系統。質量數范圍：1-200可選，雙檢測器配置可選。
	MASS-FLO系列金屬密封質量流量控制器	MASS-FLO系列金屬密封質量流量控制器
	ENI射頻電源阻抗匹配器	ENI射頻電源阻抗匹配器
	臭氧發生器	SEMOZON 臭氧發生器以及集成系統 LIQUOZON Smart臭氧水循環系統
	反應氣體發生器	ASTRON系列遠程等離子體電源
	MKS 質量流量計	MKS 質量流量計是采用感熱式測量，通過分體分子帶走的分子質量多少從而來測量流量，因為是用感熱式測量，所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果。
	DELTA //流量比例控制器	DELTA //流量比例控制器
	Tru-Flo質量流量檢驗器	Tru-Flo質量流量檢驗器
	以壓力為基礎的流量控制器	以壓力為基礎的流量控制器
	MASS-FLO 系列橡膠密封質量流量控制器	MASS-FLO系列橡膠密封質量流量控制器
	MF1系列數字質量流量控制器	通用數字質量流量控制器。
	General系列數字質量流量控制器	通用數字質量流量控制器。精度為設定值的正負1%，響應速度快于500毫秒，不同氣體以及量程間自由切換。 Ethernet用戶通訊口方便地用于設置和診斷。各種模擬和數字（RS-485，DeviceNet，Profibus）通訊接口可選。
	金屬密封數字質量流量控制器	新一代多氣體/多量程數字質量流量控制器。實時高精度流量控制是基于先進的數字算法技術，提供精度為設定值的正負1%，相應速度快于500毫秒，不同氣體及量程間自由切換的優異功能。 Ethernet用戶通訊口方便地用于設置和診斷。各種模擬和數字（RS-485，DeviceNet，Modbus/TCP)通訊接口可選。 ALTA 系列金屬密封數字質量流量控制器。精度為設定值的正負1%，相應速度快于1秒，不同氣體及量程間自由切換。各種模擬和數字（Profibus，DeviceNet）通訊接口可選。
	MKS電源-直流/脈沖功率電源	ENI直流/脈沖電源主要應用于半導體，光電器件，磁盤，平板顯示器等工業中的鍍膜工藝。
	MKS電源-射頻功率電源	ENI提供高可靠性的固態電源，其頻率從2MHz到60MHz，功率從3百瓦到13千瓦，還可選自動頻率跳鞋，廣泛應用于Etch，CVD和PVD等工藝。
	MKS電源-等離子體電源	ASTeX 遠程等離子體電源適用于氧氣，氮氣，氫氣，水汽等氣體，廣泛應用于CVD，ETCH，去膠等晶圓工藝。
	各種真空計	各種真空計
	壓力傳感器/質量流量控制器電源和顯示儀	壓力傳感器/質量流量控制器電源和顯示儀

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